湿电子化学品又称超净高纯电子化学品,属于电子化学品领域分支,是微电子、光电子湿法工艺制程(主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节)中使用的各种液体化工材料,是电子信息行业中的关键性基础化工材料。
湿电子化学品行业上游为基础化工行业,以大宗化工商品为原料;下游为电子信息行业,主要应用领域为集成电路、显示面板及太阳能光伏等。
湿电子化学品行业处于电子信息产业链上游的关键位置,对电子信息产业的发展起着重要作用。
按照组成成分和应用工艺不同,湿电子化学品分为通用湿电子化学品和功能湿电子化学品两大类:通用湿电子化学品一般为单组份、单功能、被大量使用的超净高纯试剂,常用于湿法工艺中的清洗、显影等工序,主要包括酸类(硫酸、磷酸、氢氟酸、盐酸、硝酸等),碱类(氨水、氢氧化钠、氢氧化钾等),有机溶剂类(甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、乙酸乙酯等)及其他类(双氧水等)产品。功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品,即在单一的超净高纯试剂(或多种超净高纯试剂配合)基础上,加入水、有机溶剂、螯合剂、表面活性剂等中的一种或多种化合物,然后混合而成的化学品,例如清洗剂、显影液、剥离液、蚀刻液、稀释液、再生剂等。
对于湿电子化学品而言,金属杂质含量、颗粒控制粒径及数量是影响电子信息产品成品率、电性能及可靠性的关键因素,亦是评价产品品质的重要技术指标。产品技术水平的先进性主要通过国际通用的标准等级进行评价,并通过产业化成果和客户认可情况验证。国际半导体设备与材料组织(SEMI)根据湿电子化学品在世界范围内的实际发展情况按品种分类制定了多个指导性标准。
湿电子化学品在各下游应用领域的产品标准有所不同,显示面板领域对湿电子化学品的等级要求集中在G2至G3 级;集成电路工艺用电子湿化学品的纯度要求较高,基本集中在G3及以上水平,晶圆尺寸越大对纯度要求越高,12英寸晶圆制造一般要求G4。随着集成电路制程节点的不断突破,对工艺中所需湿电子化学品纯度要求也不断提高,G4至G5级湿电子化学品需求占比将逐渐升高。
通用湿电子化学品主要通过纯化工艺制得,即针对不同类型的单成分湿电子化学品(如氨水、双氧水、硝酸、氨水、氢氧化钠等),通过多级水洗、高效连续精馏、低压精馏与吸收、离子交换、膜处理等多种复杂工艺,对产品进行分离提纯。
功能性湿电子化学品通过拼配工艺制得,即将所需原料按配方要求在拼配设备内混合均匀后,通过超细过滤器过滤,最后在净化间超净包装至特殊材料的容器中可得到最终的拼配产品。
湿电子化学品下游应用领域包括集成电路、显示面板、太阳能光伏等行业。我国集成电路行业湿电子化学品需求量占比相对较低,主要是由于我国集成电路产业技术水平和产业规模与世界先进国家和地区还存在一定差距,而我国显示面板与太阳能光伏行业经过多年持续发展,已成为全球最大产业基地之一。根据中国电子材料行业协会数据,2021年全球湿电子化学品应用于集成电路行业、显示面板行业、太阳能光伏行业的需求量占市场总需求量的比例分别为45.60%、36.48%、17.92%;2021年国内湿电子化学品应用于集成电路行业、显示面板行业、太阳能光伏行业的需求量占市场总需求量的比例分别为32.92%、36.44%、30.64%。
在5G通讯、智能终端、汽车电子等新兴领域的带动下,全球集成电路、显示面板等产业持续保持稳健发展,相关配套行业也迎来持续增长。根据中国电子材料行业协会数据,2021年全球湿电AG真人 AG平台子化学品整体市场规模约592.57亿元,需求量达到458.3万吨,预计到2025年全球湿电子化学品整体市场规模将达到784.50亿元,需求量将达到697.22万吨。
据中国电子材料行业协会数据,2019年我国湿电子化学品需求量中,通用性湿电子化学品用量占比高达88%,其中又以过氧化氢、氢氟酸、硫酸、硝酸等用量较多,而显影液、蚀刻液、剥离液等功能湿电子化学品则通常仅用于特定工序,因此用量相对较少,但由于复配类化学品除纯化工艺外,还涉及到不同成分的配比问题,其研发和生产的难度及单价通常会相对更高。
根据中国电子材料行业协会数据,2021年我国湿电子化学品整体市场规模约158.90 亿元,在集成电路、显示面板、太阳能光伏三个应用市场使用的湿电子化学品总量达到213.52万吨,其中集成电路领域用量为70.29万吨、显示面板领域用量为77.8万吨、太阳能光伏领域用量为65.43万吨。据我们测算,预计到2025年,我国集成电路领域需求量将增长至138.50万吨,显示面板领域需求量将增长至149.09万吨,太阳能光伏领域需求量将增长至201.40万吨,湿电子化学品需求总量将达到488.99万吨,2021-2025年均复合增速达24.14%。
半导体制造,根据工艺流程主要分为芯片设计、晶圆制造和封装测试。据润玛股份招股说明书,晶圆制造是整个半导体制造的核心工艺,通过反复十几次光刻、蚀刻等工艺流程,约占芯片制造时间的40-50%,晶圆制造均需要使用高性能蚀刻液和光刻胶剥离及清洗等配套试剂等产品进行相关处理;此外,集成电路生产中,约有20%的工序与晶圆清洗有关,其他湿电子化学品主要参与表面预处理等晶圆清洗工序。
半导体用湿电子化学品中消耗量最大的是硫酸,其他消耗量较大的湿电子化学品还有双氧水、氨水、显影液、蚀刻液。
随着集成电路的集成度越来越高,特征尺寸越来越小,重复步骤越来越多,晶圆制造过程中使用的湿电子化学品用量成倍增长。12英寸晶圆面积是8英寸晶圆的两倍,但其制造过程中使用的湿电子化学品达239.82吨/万片,是8英寸晶圆消耗量的4.6倍,是6英寸晶圆消耗量的7.9倍。
集微咨询(JW Insights)统计,截至2022年初中国大陆共有23座12英寸晶圆厂正在投入生产,总计月产能约为104.2万片,与总规划月产能156.5万片相比,这些晶圆厂的产能装载率仅达到66.58%,仍有较大扩产空间。预计2022年-2026年中国大陆还将新增25座12英寸晶圆厂,这些晶圆厂总规划月产能将超过160万片。截至2026年底,中国大陆12英寸晶圆厂的总月产能将超过276.3万片,相比目前提高165.1%。
随着晶圆制造产能的高速扩张、晶圆制造工艺的不断提升以及先进封装技术应用的不断加强,我国集成电路用湿电子化学品的需求量也将不断增加,我们预计2025年我国集成电路用湿电子化学品市场需求将达到138.50万吨。由于12英寸晶圆产线对湿电子化学品的需求量较8英寸/6英寸产线有明显提升,未来随着我国12英寸晶圆产能占比的逐步提升集成电路用湿电子化学品需求量有望进一步增长。
LCD和OLED是目前显示面板领域主流的屏幕材质,TFT(薄膜晶体管)、AMOLED(主动矩阵OLED)、PMOLED(被动矩阵OLED)等一类的屏幕则是基于这两种材质的增强技术。显示面板的制造过程可以分为阵列制程(Array) 、成盒制程 (Cell) 以及模组制程 (Module) ,其中光刻技术是Array制程最为核心的内容,湿电子化学品主要参与Array制程的显影、光刻(蚀刻)清洗等工序。
据中国电子材料行业协会,2021年我国TFT-LCD面板产能达到20489万平方米,较2020年增长16.4%,预计2025年将达到28633万平方米;2021年我国OLED面板产能960万平方米,随着多条在建产线万平方米。显示面板产能的持续扩张,带动显示面板用湿电子化学品需求量稳健增长。
根据湿电子化学行业协会数据,单位面积OLED消耗的湿电子化学品量约是LCD面板的5倍。由于单位面积OLED面板制造所需的湿电子化学品用量较TFT-LCD面板大幅提升,未来随着我国OLED面板产能占比的逐步提升,显示面板用湿电子化学品需求量有望进一步增长。
据中国电子材料行业协会数据,2021年我国TFT-LCD面板用湿电子化学品市场规模为48.5亿元,较2020年增长30%,预计2025年将增长至66.9亿元;2021年我国TFT-LCD面板用湿电子化学品市场需求63.4万吨,预计2025年将增长至87.4万吨。2021年我国OLED面板用湿电子化学品市场规模为13.8亿元,未来几年将保持高速增长态势,预计2025年将增长至59.6亿元;2021年我国OLED面板用湿电子化学品市场需求14.3万吨,预计2025年将增长至61.7万吨。
在晶硅太阳能电池片制程中所用湿电子化学品,主要应用于太阳能电池片的制绒、清洗及刻蚀,上述工艺为太阳能电池片精细加工的核心工艺。
制绒是指利用化学腐蚀去除由于太阳能电池硅片切割过程中的线微米的损失层,并进行硅片表面织构化;清洗的功效主要是去除在太阳能电池片上残留的小颗粒、金属沾污、表面有机物;刻蚀环节主要分为酸法刻蚀和碱法刻蚀,后者具备效率高,低成本,高性能等优势,还具备提升产能,提高光电效率,以及降低环保成本等优势。
制绒环节是太阳能电池领域对湿电子化学品需求最大,也是需求结构变动最大的一个环节。制绒环节的工艺好坏,对光伏电池片的转化效率,生产速率与生产成本具有重要影响。
据中国光伏行业协会,2023年全球光伏新增装机超过390GW,创历史新高。未来,在光伏发电成本持续下降和全球绿色复苏等有利因素的推动下,全球光伏新增装机仍将持续增长。预计2024-2026年全球光伏新增装机规模分别为430、462、511GW,年均复合增速为9.43%。
氢氟酸、硝酸、氢氧化钾是太阳能电池片制造中用量最多的品种。据中国电子材料行业协会,单多晶硅电池片用湿电子化学品的单位消耗量整体接近。从细分种类看,由于制绒及清洗工艺不同(单晶硅电池片加工为碱制绒、多晶硅电池片加工为酸制绒),单晶硅电池片对氢氧化钾的用量较大,而多晶硅电池片对氢氟酸、硝酸的用量较大。
据我们测算,2023年我国太阳能光伏领域湿电子化学品需求量将达到170.01万吨,预计到2025年我国太阳能光伏领域湿电子化学品需求量将增长至201.40万吨,年均复合增速达8.84%。
湿电子化学品是纯度要求最高的化学试剂,技术门槛、资金门槛较高。欧美、日韩等发达国家集成电路行业起步早、供应链成熟,使得欧美、日韩企业主导了全球湿电子化学品市场。据中国电子材料行业协会数据,按湿电子化学品销售额统计,2021年欧美企业市场份额约为32%,日本企业市场份额约为29%,中国台湾地区、韩国、中国大陆本土企业市场份额合计约为38%。
据中国电子材料行业协会,2021年我国集成电路用湿电子化学品整体国产化率达到35%,在通用湿电子化学品领域突破明显,电子级氢氟酸、硫酸、磷酸等产品国产化率明显增长,12英寸晶圆28nm以下先进技术节点制造所用的功能性湿电子化学品基本依赖于进口。显示面板用湿电子化学品整体国产化率仍不足40%,部分OLED面板及大尺寸液晶面板所需的湿电子化学品部分品种仍被韩国、日本和我国台湾地区少数厂商垄断。
通用湿电子化学品方面,德国巴斯夫是全球领先企业,拥有集成电路用湿电子化学品的主要品种,全球市场份额最高;此外,以韩国东友为代表的韩国化学品企业、比利时索尔维、中国台湾联仕及多家日本企业在通用湿电子化学品领域也占有较高市场份额。
功能湿电子化学品方面,美国陶氏杜邦、Entegris、德国巴斯夫、日本东京应化等外国公司在特定品种上具有市场份额优势。功能化学品技术门槛高,国内电子化学品企业与国际先进企业相比差距较大。
国内从事湿电子化学品研究生产的企业有40多家,但目前缺乏在多个品种均拥有较高市场占有率的龙头企业,各企业优势产品相对单一;部分企业尽管品种较多,但拳头产品有限,特别是在集成电路先进制程产品上较境外企业相比,尚有较大差距。
低端湿电子化学品应用领域(太阳能电池、分立器件等),参与者基本是国内的湿电子化学品生产企业。
高端湿电子化学品主要由国外厂商垄断。半导体用高端湿电子化学品主要由欧美、日本厂商把控,如巴斯夫、霍尼韦尔、三菱化学、住友化学等。在平板用湿电子化学品领域,国内高世代线主要由韩国东进世美肯和韩国ENF供货,国内除个别公司实现突破外,其它均为国外品牌。
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